“微”有衰微或微小、精微等意。“微乎其微”形容极其衰微。语本《尔雅・释训》。后用“微乎其微”形容事物极其细小或精微。
[1]者，[2]也。
[1]式微式微：《诗经・邶风》文。式，发语词，无义。微，衰微。
[2]微乎微者：极其衰微。
《尔雅》是我国最早解释词语、名物的专书，〈释训〉篇有“式微式微者，微乎微者也”一节，系释《诗经・邶风・式微》之文。《诗》云：“式微式微，胡不归？微君之故，胡为乎中露？式微式微，胡不归？微君之躬，胡为乎泥中？”这是黎侯被狄人所逐，寄居卫国时，他的臣子劝他回国的话。黎侯流亡到卫国，卫国给他优厚的待遇，局势稳定后，他竟然不想回去了。他的臣子因此来劝谏他。据朱熹诗经传的说法，这段劝谏文字的意思是：“您被逐而寄居卫国，已是衰微得不能再衰微了，您为何不回国呢？不是为了您，我们做臣子的何必餐风露宿，陷身泥涂，这么辛苦而受不到庇护拯救呢？”“式微式微”是诗歌常见的叠句，有加强语气的作用；其中的“式”是发语词，无义。后来“微乎其微”这句成语就从这里演变而出，但多用来形容非常微小，也偶见用于形容事物极其精微，清・杨伦《杜诗镜铨・白丝行》眉批引蒋弱六云：“写妙技不觉说入自家话，微乎其微。”就是形容其精微。
语义形容事物非常微小。
类别用在“细微渺小”的表述上。
①一个人和宇宙的浩瀚相比，真是微乎其微。
②这种病目前还无药可救，痊愈的希望是微乎其微。
③一位外国妇女产下了六胞胎，这样的机率真是微乎其微。
④一个人无论有多大的成就，从人类发展史上来看，都是微乎其微，渺小得很。
⑤大家对于这项提案一直没有共识，看来要在这次会议中通过的机率是微乎其微了。
1，信仰，信心，信任，都来自这些看起来微乎其微的小事。
2，石家庄也不过是百年之内的事情，相对于我们燕赵大地的千年历史来说影响是微乎其微的。
3，其在宏观方面的影响可能是微乎其微，特别是因为减少退税也有利于其他污染产业，如高含锌量电池以及其它类型的电池产品。
4，她抓住了人生中微乎其微的机遇，勇敢地踏上了属于自己的成功之路。
5，可惜收到的成效却微乎其微，比如在肯尼亚，资深板球运动员的人员在过去五年当中一直在下降。
6，指数中的某一成分在未来六个月中违约的几率微乎其微。
7，我们只是同学关系,我对他的成长过程,影响可以说是微乎其微。
8，小气自私致使人与人之间产生了隔阂，就连那藕断丝连的亲情也变得微乎其微了。
9，就在他俩争吵的当口儿，张扬用手挨块儿原石感应了一下，他发现，马脸老板这里的原石，大部分都没有灵气，偶尔有点儿灵气的，也是微乎其微。
10，海军的飞机在第一次世界大战期间使用过鱼雷，但是其命中一艘可以快速机动的战舰的机会是微乎其微。